YXS-1525专为高精度角度控制与无限连续旋转而设计。其紧凑高刚性的结构确保了纳米级角度分辨率与优异的重复定位精度，可满足显微操作与光学对准等应用的严苛需求。电机支持与M-Nanox系列平台快速组合，构建多轴运动系统；模块化设计便于维护升级，并提供真空兼容版本，是高性能精密定位解决方案的核心组件。

• 主要应用平台

• 扫描电镜（SEM）样品检测 

• 显微视觉与光学对准 

• 电子束直写（EBL） 

• 半导体集成电路检测 

• 微装配系统机器人

• 其他高真空样品对准、操作

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。