YGO系列纳米偏摆电机专为需要在小角度范围内（±5°）进行高精度旋转的应用而设计。该系列弧度台提供两种不同半径规格，可直接堆叠组合，形成具有共同旋转中心的极度紧凑且刚性极高的欧拉弧度台。 大负载纳米偏摆电机基于压电驱动技术，专为需要在小角度范围内实现高精度偏摆与旋转调节的应用而设计，特别适合高稳定性要求的精密偏摆与角度对准任务。统一的机械接口设计，使其可与M-nanox线性电机、旋转电机直接组合，快速构建多轴精密运动系统。产品支持位置传感器集成，并可提供高真空及超高真空版本，满足先进科研与高端装备制造中的复杂运动控制需求。

• 主要应用平台

• 显微镜样品台

• 光纤对准基座

• 电子束直写（EBL）

• 其他高精度、大负载样品对准与操作

• 参数表

  参数名称	数值
  尺寸：长×宽×高 [mm]	52×52×17
  行程 [°]	±5
  重量 [g]	145
  最大负载 [N]	15
  最大扭矩 [N▪mm]	200
  扫描范围 [μ°]	2800
  最大速度[°/s]	7
  开环分辨率*[μ°]	1.5
  重复定位精度[μ°]	±150
  锁止扭矩 [N▪mm]	200
  旋转半径 [mm]	70
  定制选项	高真空兼容（1E-6mbar）、无磁兼容、钛基座、不锈钢基座

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。