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M-Nanox光栅模组专为纳米定位而设计，采用反射式增量光栅测量原理，支持高分辨率位置反馈与高速信号输出，满足高动态精密运动控制需求。模组结构紧凑，可作为 OEM 模块或定制封装形式使用。系统支持参考零位检测，具备良好的稳定性与低功耗特性，适用于超精密和可靠性的精密检测与测量场景。
主要应用平台
超精密加工设备
光刻机
半导体检测所有系统
高精度直线模组
参数表
| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 尺寸：长×宽×高 [mm] | 22×10×4.75 |
| 通信方式 | IIC/SPI |
| 栅距[μm] | 20 |
| 定位准确性 | 1/100 |
| 最大速度[mm/s] | 5 |
| 重复定位精度[nm] | ±100 |
| 可定制长度[mm] | 20~100 |
| 分辨率[nm] | 1 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。
