M-Nanox光栅模组专为纳米定位而设计，采用反射式增量光栅测量原理，支持高分辨率位置反馈与高速信号输出，满足高动态精密运动控制需求。模组结构紧凑，可作为 OEM 模块或定制封装形式使用。系统支持参考零位检测，具备良好的稳定性与低功耗特性，适用于超精密和可靠性的精密检测与测量场景。

• 主要应用平台

• 超精密加工设备

• 光刻机

• 半导体检测所有系统

• 高精度直线模组

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。