1×3纳米操作机是一款结构高度紧凑的集成化运动系统，专为受限空间优化设计。在实现更小体积的同时，为用户提供了更大的样品操作范围，有效提升了舱内空间利用率。该平台集成了3台纳米电机，具备纳米级运动精度与高稳定性，。凭借其模块化与集成化设计，它能够出色地完成生物细胞操作、微纳组装、半导体检测等精密任务，并支持根据特定需求进行定制化扩展，是高端科研与工业检测的理想选择。

• 主要应用平台

• 生物细胞操作

• SEM操作

• 半导体集成检测

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。