M-Nanox纳米直线伸缩电机可在厘米级行程内实现纳米级分辨率,完美兼顾宏观运动与微定位精度。其紧凑的直径与高动态性能,使其易于集成到显微操作、半导体检测等高端设备中,并通过稳定的闭环控制,为多轴系统提供高性能运动解决方案。
主要应用平台
显微操作
半导体芯片检测
生物细胞操作
其他高精度操作场景
参数表
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求,采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。