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M-Nanox纳米直线伸缩电机可在厘米级行程内实现纳米级分辨率，完美兼顾宏观运动与微定位精度。其紧凑的直径与高动态性能，使其易于集成到显微操作、半导体检测等高端设备中，并通过稳定的闭环控制，为多轴系统提供高性能运动解决方案。
主要应用平台
显微操作
半导体芯片检测
生物细胞操作
其他高精度操作场景
参数表
| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 尺寸：长×宽×高 [mm] | 143×8 |
| 行程 [mm] | 10 |
| 重量 [g] | 8 |
| 最大推力 [N] | 0.8 |
| 最大速度[mm/s] | 5 |
| 扫描范围 [μm] | ＞4 |
| 分辨率*[nm] | 0.4 |
| 定制选项 | 高真空兼容（1E-6mbar）、无磁兼容、钛基座、不锈钢基座 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。
