YPS-N-1723专为高精度平面角度定位与稳定旋转调节设计，兼具紧凑结构和高刚性，在微米至纳米级精密调节任务中表现出卓越的重复性与稳定性。与M-Nanox系列线性和旋转组件灵活组合，快速构建多轴协调运动系统。支持高分辨率角度控制，并可适配闭环反馈系统，实现精准的位置监测与控制。其统一的机械接口大幅提升了系统集成效率，同时提供真空兼容版本，满足科研与高端工业装备在复杂环境下的精密运动需求。

• 主要应用平台

• 扫描电镜（SEM）样品检测 

• 显微视觉与光学对准 

• 电子束直写（EBL） 

• 半导体集成电路检测 

• 微装配系统机器人

• 其他高真空样品对准、操作

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采用皮米级分辨率激光干涉仪标定。