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YLS-5252是一款兼具大负载能力与纳米级定位精度的跨尺度精密线性定位系统，平台在紧凑结构下实现较大行程范围，并可承受高有效载荷。与M-Nanox模块化系统兼容，满足复杂系统集成需求，适用于科学研究与工业领域中对稳定性和可靠性要求极高的应用。
主要应用平台
显微镜样品台
光纤对准基座
电子束直写（EBL）
其他高精度、大负载样品对准与操作
参数表
| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 尺寸：长×宽×高 [mm] | 52×52×14 |
| 行程 [mm] | ±16 |
| 重量 [g] | 100 |
| 最大负载 [N] | 20 |
| 最大推力 [N] | 3.5 |
| 扫描范围 [μm] | ＞3.5 |
| 速度[mm/s] | ＞20 |
| 分辨率*[nm] | < 1 |
| 重复定位精度[nm] | ±100 |
| 锁止力 [N] | ＞3.5 |
| 定制选项 | 高真空兼容（1E-6mbar）、无磁兼容、钛基座、不锈钢基座 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。
