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4×6纳米探针台是M-Nanox专为半导体测试与微纳器件表征设计的高端测量平台，为多点位并行测试带来显著的操作效率与灵活性。该平台可在毫米级行程内实现亚纳米级分辨率，确保多探针定位的极致精准与长期稳定性。模块化设计支持灵活选配各类探针与传感器，结构紧凑且兼容主流SEM，是半导体测试与微纳器件表征的理想解决方案。
主要应用平台
微纳操作与微装配
半导体纳米芯片电学探测
材料纳米力学（纳米压痕、弯曲、拉伸测试）
光电材料等原位光诱导或原位性能测量
MEMS器件测试
参数表
| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 系统尺寸：长 × 宽 × 高 [mm] | 185×185×76 |
| 操作范围 [mm] | 12(X)； 12(Y)； 12(Z) |
| 旋转操作范围 [°] | 180(EY)； 180(EZ)； 180(R) |
| 纳米操作手数量 | 4 |
| 纳米操作手自由度 | x/y/z/β/γ/r |
| 开环分辨率 *[nm] | < 1 |
| 旋转开环分辨率 *[μ°] | 4 |
| 闭环定位准确性 | 1/100 |
| 操作环境 | 可兼容SEM |
| 选配模块 | 旋转定位台、低温样品台、运动样品台 |
| 定制选项 | 按使用场景定制按使用场景定制 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。
