4×6纳米探针台是M-Nanox专为半导体测试与微纳器件表征设计的高端测量平台，为多点位并行测试带来显著的操作效率与灵活性。该平台可在毫米级行程内实现亚纳米级分辨率，确保多探针定位的极致精准与长期稳定性。模块化设计支持灵活选配各类探针与传感器，结构紧凑且兼容主流SEM，是半导体测试与微纳器件表征的理想解决方案。

• 主要应用平台

• 微纳操作与微装配

• 半导体纳米芯片电学探测

• 材料纳米力学（纳米压痕、弯曲、拉伸测试）

• 光电材料等原位光诱导或原位性能测量

• MEMS器件测试

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。