YSR-5219支持连续无限旋转,采用紧凑高刚性结构设计,支持位置传感器集成,可实现高分辨率闭环旋转控制。产品能与线性、测角平台自由组合,构建多轴与欧拉系统,支持闭环控制及真空、无磁版本,适用于高精度科研与工业应用。
主要应用平台
显微镜样品台
光纤对准基座
电子束直写(EBL)
其他高精度、大负载样品对准与操作
参数表
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求,采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。