YSR-5219支持连续无限旋转,采用紧凑高刚性结构设计,支持位置传感器集成,可实现高分辨率闭环旋转控制。产品能与线性、测角平台自由组合,构建多轴与欧拉系统,支持闭环控制及真空、无磁版本,适用于高精度科研与工业应用。
主要应用平台
显微镜样品台
光纤对准基座
电子束直写(EBL)
其他高精度、大负载样品对准与操作
参数表
| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 尺寸:长×宽×高 [mm] | 52×52×19 |
| 行程 [°] | ∞ |
| 重量 [g] | 120 |
| 最大负载 [N] | 20 |
| 扭矩 [N▪mm] | >80 |
| 扫描范围 [μ°] | >20000 |
| 转速[°/s] | >30 |
| 分辨率*[μ°] | < 2.5 |
| 重复定位精度[μ°] | ±400 |
| 锁止扭矩 [N▪mm] | >80 |
| 定制选项 | 高真空兼容(1E-6mbar)、无磁兼容、钛基座、不锈钢基座 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求,采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。