核心部件 - M-Nanox超精密运动定位系统

核心部件解决方案系统软件系统

核心部件精密制动 · 纳米级核心自主研发压电陶瓷驱动器、无摩擦柔性铰链及高刚性导向机构，实现0.5nm分辨率与百微米级行程的精准协同。全封闭紧凑设计适配真空/洁净环境，寿命超10亿次循环，为高端设备提供可靠动力内核。