M-Nanox六自由度串联粘滑定位台是一款高性能的精密运动系统，能够在三维空间内同时实现三个平移（X, Y, Z）和三个旋转（θx, θy, θz）共六个自由度的精确位置与姿态调整。它基于先进的粘滑式压电驱动技术，兼具纳米级分辨率与毫米级行程，完美解决了微纳操作、原位测试等应用中复杂位姿调整的难题。该定位台结构刚性强，运动稳定，其独特的串联构型为复杂路径规划提供了灵活性，并可定制超高真空版本，满足从常压到极端环境的应用需求。

• 主要应用平台

• 微纳操作与微装配

• 半导体纳米芯片电学探测

• 材料纳米力学（纳米压痕、弯曲、拉伸测试）

• 光电材料等原位光诱导或原位性能测量

• MEMS器件测试

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。