YZL-17 系列兼具紧凑尺寸、高刚性与优异的结构稳定性，在实现厘米级行程的同时具备纳米级定位精度，可在有限空间内提供可靠的线性运动表现，是高精度定位系统的理想选择。 产品支持多种定制方案，可根据应用需求提供高真空、超高真空版本及不同材料组合，并可与旋转电机、Z 轴直线电机等模块集成，便于构建高性能多轴精密运动平台。

• 主要应用平台

• 扫描电镜（SEM）样品检测 

• 显微视觉与光学对准 

• 电子束直写（EBL） 

• 半导体集成电路检测 

• 微装配系统机器人

• 其他高真空样品对准、操作

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。