微夹持器系列面向精密装配与微纳操作应用,采用紧凑结构设计,夹爪可快速更换并支持定制,配合高精度驱动与位置反馈,实现稳定、可控的精密夹持。产品适用于脆弱或高敏感目标,兼容真空等特殊环境,满足多场景微操作需求。
主要应用平台
处理透镜对准与光纤精密对接
微芯片放置与拾取对位调整
晶圆/集成电路的电性测试
其他领域的微纳装配需求
参数表
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| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 尺寸:长×宽×高 [mm] | 51×17×12 |
| 重量 [g] | 15.5 |
| 夹持力 [N] | <1 |
| 开口 [mm] | 0.5±0.5 |
| 夹持时间[ms] | <10 |
| 夹持分辨率 [nm] | <10 |
| 爪类型 | 可更换 |
| 定制选项 | 按使用场景定制 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求,采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。