YHR-5237大负载Z向压电纳米定位台是一款专为垂直方向高精度、高负载场景设计的精密驱动组件。它集纳米级定位精度、高动态响应与垂直大负载能力于一体，结构紧凑、台面宽大，可轻松集成于各类精密仪器与自动化设备中。产品基于压电粘滑驱动原理，采用柔性铰链导向结构，运动平滑无摩擦。出色的真空及无磁兼容性，使其既能胜任显微物镜调焦、晶圆表面扫描等单轴精密定位任务，也是构建探针测试台、失效分析系统等垂直多轴协同平台的核心组件。

• 主要应用平台

• 显微镜样品台

• 光纤对准基座

• 电子束直写（EBL）

• 其他高精度、大负载样品对准与操作

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。