YLS-5252 大负载纳米直线电机是一款专为高精度、高负载场景设计的核心驱动组件。它集纳米级定位精度、高动态响应与强劲负载能力于一体，结构紧凑且易于集成维护，可完美满足精密检测与工业自动化需求。其出色的兼容性使其既能胜任单轴精密定位，也是构建高性能多轴协同运动平台的理想选择。

• 主要应用平台

• 显微镜样品台

• 光纤对准基座

• 电子束直写（EBL）

• 其他高精度、大负载样品对准与操作

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。