4×3纳米操作机是M-Nanox专为复杂微纳操作任务设计的高精度运动平台，可在有限空间内实现多达12个运动轴的协同工作，为多工具并行操作提供完整解决方案。该平台基于纳米级压电驱动技术，具备亚纳米级分辨率与微米级运动行程，在实现多自由度精密定位的同时保持卓越的稳定性与重复定位精度。紧凑的机械结构专为受限空间设计，支持根据用户需求灵活配置探针、微夹持器等末端工具，满足半导体测试、微纳装配、材料研究等领域对多工具协同操作的严苛需求。

• 主要应用平台

• 微纳操作与微装配

• 半导体纳米芯片电学探测

• 材料纳米力学（纳米压痕、弯曲、拉伸测试）

• 光电材料等原位光诱导或原位性能测量

• MEMS器件测试

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。