YLS-8282XY定位台是一款基于压电粘滑驱动的双轴纳米级精密定位平台，专为磁场敏感的应用场景设计。平台采用钛合金无磁材料制造，整机剩磁严格控制在100nT以内，可直接部署于量子计算、磁敏传感器测试电子显微镜等对磁场环境要求严苛的场景。闭环控制结合EyherCAT通讯接口，确保运动过程稳定、响应迅速，适用于半导体检测、光纤对准、微纳操作及精密装配等需要纳米级定位与无磁兼容的场景。

• 主要应用平台

• 量子计算芯片测试

• 半导体晶圆检测

• 光纤阵列精密对准

• 磁敏传感器标定

• 参数表

*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。