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产品采用大中空设计，中心通孔尺寸达120×120mm,便于光路或样品垂直穿过，甚至可以容纳显微镜应用中的大直径物镜。集成了X、Y直线轴与旋转轴，直线行程±5mm,旋转行程＞180°，最大荷载20N。适用于需要多自由度精密定位且中心需要通光或通样的场景，如晶圆检测、光学对准与微纳操作。
参数表
| 参数名称 | 数值 |
|---|---|
| 尺寸：长×宽×高 [mm] | 185×185×58.1 |
| 中空尺寸[g] | 120×120 |
| 重量 [g] | 3500 |
| 直线行程[mm] | ±5 |
| 旋转行程 [°] | ＞180° |
| 最大荷载 [N] | 20 |
| 最大速度[°/s] | 20 |
| 直线分辨率[nm] | 1 |
| 旋转分辨率[μ°] | 1.5 |
| 直线最大推力 [N] | 7 |
| 直线静态锁止力 [N] | ＞7 |
| 控制方式 | 闭环 |
*依据GB/T 38614-2020规定实验环境要求，采⽤⽪⽶级分辨率激光⼲涉仪标定。
